Technologie próżniowe

Badania prowadzone w ITR w dziedzinie techniki próżni są kontynuacją badań Przemysłowego Instytutu Elektroniki, który był jednym z najważniejszym  w kraju ośrodków opracowujących i wytwarzających nowoczesne podzespoły oraz urządzenia wysokiej próżni.

Interdyscyplinarna tematyka badawcza Instytutu w dziedzinie techniki próżni koncentruje się obecnie na badaniach związanych z komorami próżniowymi, technologią elektronowiązkową, spektrometrami mas oraz technologią warstw kompozytowych.

Główne obszary badawcze w zakresie technologii próż̇ni, oparte na wieloletnim doświadczeniu koncentrują się na projektowaniu i wdraż̇aniu:

  • podzespołów próż̇niowych, takich jak: komory gaszeniowe, izolatory i przepusty ceramiczno-metalowe;
  • podzespołów bardzo wysokiej próż̇ni, w tym m.in.: manipulatorów procesowych, śluz próż̇niowych, zaworów suwakowychi pomp jonowosorpcyjnych;
  • aparatury wysokiej i bardzo wysokiej próżni: spawarek elektronowych, pieców do topienia metali wiązką elektronową, kwadrupolowych spektrometrów mas, urządzeń do epitaksji z wiązek molekularnych MBE.

Zobacz film dotyczący technologii próżniowych

Kliknij na strzałkę

Kliknij na strzałkę