ITR - Wydarzenia

WIELOFUNKCYJNE MANIPULATORY PRÓŻNIOWE

Przeznaczone są do pracy w urządzeniach wysokiej i bardzo wysokiej próżni. Służą do przenoszenia próbek (manipulacja w pięciu stopniach swobody) oraz wykonywania operacji technologicznych na tych próbkach. Mogą być wyposażone w przepusty technologiczne i przysłonę. Mogą pracować z napędem ręcznym lub elektrycznym z silnikami krokowymi. Charakteryzują się wysoką precyzją i powtarzalnością wykonywanych ruchów. Konstrukcja ich umożliwia także wygrzewanie lub chłodzenie próbek, pomiar ich temperatury oraz doprowadzanie napięcia i pomiar prądu na próbce. W trakcie prowadzenia procesu wzrostu kryształów metodą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) umożliwiają także zasłanianie próbki poprzez mechaniczny ruch zasłony.

Dane techniczne:

	MKW-63	WMP-100	WMP-160	MWK-63
Kołnierz podłączeniowy	NW-63CF	NW-100CF	NW-160CF	NW-63CF
Maksymalny przesuw próbki wzdłuż osi X i Y [mm]	20	30	30	20 + 10(stolik)
Maksymalny przesuw próbki wzdłuż osi Z [mm]	30	100	100	20
Obrót próbki	n x 360^o	n x 360^o	n x 360^o	n x 360^o
Dokładność i powtarzalność przesuwu wzdłuż osi X,Y [mm]: z napędem ręcznym z napędem elektrycznym	0,005 0,001	0,01 0,002	0,01 0,002	0,01 0,002
Dokładność i powtarzalność przesuwu wzdłuż osi Z [mm]: z napędem ręcznym z napędem elektrycznym	0,005 0,001	0,05 0,002	0,05 0,002	0,05 0,002
Temperatura wygrzewania próbek [K]	1000	1000	1000	1000
Temperatura wygrzewania manipulatora [K]	520	520	520	520

Kontakt:

dr Piotr Konarski
tel: (22) 831-92-71
email: piotr.konarski@itr.org.pl